由昆山睿翔讯通通信技术有限公司承担的“6G太赫兹终端可调波束天线阵列关键技术研发”项目，研制频率范围100-120GHz的太赫兹可调波束反射天线阵列和太赫兹可调波束双功能天线阵列，推动太赫兹终端可调波束阵列天线在移动通信终端、车联网、商用卫星、AIoT等领域的应用和产业化进程。

“集成电路制造用光敏性聚酷亚胺（PSPI）关键技术的研发”项目由江苏艾森半导体材料股份有限公司承担，通过自主合成高分子PSPI树脂，建立光敏性聚酰亚胺（PSPI）新材料设计方法、开发PSPI单体及树脂纯化方法，解决关键技术PSPI树脂的纯化工艺及批量稳定生产工艺，填补我国PSPI光刻胶的技术空白。

苏州智程半导体科技股份有限公司的“基于微纳气泡过程强化的集成电路前道14nm单片式清洗设备关键技术研发”项目旨在研发基于微纳气泡强化的集成电路14nm先进制程单片清洗设备，实现集成电路14nm先进制程单片清洗设备的研发，可用于去除集成电路制造中晶圆表面的各类污染物，广泛应用于单晶硅片清洗、集成电路制造清洗以及先进封装清洗，大力推动整个集成电路芯片和先进封装制造国产化进程。