项目一

针对电子设备在6G复杂通信环境下接收和发射太赫兹信号的易扰、低效等问题，由昆山睿翔讯通通信技术有限公司承担的“6G太赫兹终端可调波束天线阵列关键技术研发”项目，将突破相变材料与阵列单元融合设计、太赫兹反射阵单元组阵、反射/透射阵单元组阵等关键技术，研制频率范围 100-120GHz 的太赫兹可调波束反射天线阵列和太赫兹可调波束双功能天线阵列，推动太赫兹终端可调波束阵列天线在移动通讯终端、车联网、商用卫星、AIoT 等领域的应用和产业化进程，推动下一代移动通信的发展进程。

项目二

本项目通过自主合成高分子PSPI树脂，精准控制聚合反应，保证树脂的稳定性，建立光敏性聚酰亚胺（PSPI）新材料设计方法、开发PSPI单体及树脂纯化方法，解决关键技术PSPI树脂的纯化工艺及批量稳定生产工艺。国外厂商在PSPI光刻胶市场的垄断，本项目涉及产品开发完成后将推广到各大晶圆制造及半导体封装厂，填补我国PSPI光刻胶的技术空白，逐步实现PSPI光刻胶国产化替代。

项目三

项目旨在研发基于微纳气泡强化的集成电路14nm先进制程单片清洗设备，通过“微纳气泡强化晶圆表面清洗机制研究”、“清洗过程液流在晶圆表面全时空数值模拟平台开发”、“微纳气泡强化清洗液发生系统及精准控制系统研发”等关键科学技术的突破，实现集成电路14nm先进制程单片清洗设备的研发。该设备可用于去除集成电路制造中晶圆表面的各类污染物，广泛应用于单晶硅片清洗、集成电路制造清洗以及先进封装清洗。该项目的顺利实施，将完成面向集成电路前道工艺的单片式清洗设备自主研发，打破集成电路先进工艺上单片式清洗设备的国际垄断，解决14nm工艺高阶单片式清洗设备“卡脖子”的难题，为高阶半导体设备国产化补上重要一环，大力推动整个集成电路芯片和先进封装制造国产化进程。